曹健林：面向“十五五”的超精密装备挑战与机遇！

摘要

精密装备通常指加工工艺中精度达到微米级的装备，超精密装备通常需要达到微米级甚至纳米级以上。超精密装备是今天先进制造的基础，同时也是若干高技术产业的关键组成部分，如集成电路、显示、航空航天、仪器仪表、高端机床等。这些产业中超精密装备的水平对该产业的发展水平有决定性影响。超精密装备还是现代科学、技术和工程实践成果的结晶，其发展是一个不断迭代进步的历史过程，需求牵引、科技进步和工程师的关键技能（know-how）积累缺一不可。时至今日，超精密装备产业基本被发达国家的少数企业垄断。超精密装备产业比较薄弱，也是中国作为全球第一制造业大国但还不是制造强国的重要原因之一。文章分析了当前我国超精密装备产业发展的现状和存在的主要问题，以及这些问题产生的原因。面对剧烈变化的内外环境，提出了抓住机遇、迎接挑战的具体工作建议。

关键词

超精密装备，制造业，4类企业，3支队伍

DOI：10.3724/j.issn.1000-3045.20250410002

CSTR：32128.14.CASbulletin.20250410002

作者简介

曹健林，季华实验室理事长、主任，国家新型显示技术创新中心理事长。科学技术部原副部长。主要从事EUV多层膜和相关工程光学技术研究。