全球首创！ASML展开2纳米晶圆光学量测设备研发制造

半导体设备大厂ASML进一步扩大在台湾地区的投资，在台湾展开2纳米晶圆光学量测设备研发制造计划，总投入为新台币9.5亿元。台湾当局经济部门将补助2.85亿元新台币，占总经费30%。

据报道，ASML“新一代晶圆量测设备研发伙伴计划“聚焦2纳米晶圆光学量测设备研发制造，未来2纳米设备将进驻ASML的林口新厂生产，相关的晶圆精密定位平台等核心技术也会在台湾地区落地。

据称，ASML选择加大投资台湾地区，主要因为台湾地区有强大的供应链系统支持，并且接近半导体客户和供应商。

为这一项目提供资金补贴的台湾当局经济主管部门则称，ASML在台湾推进2纳米设备是全球首创，可提升台湾地区本土供应链量能。经双方磋商，ASML将增加6家台湾供应商，在台湾采购金额升高至每年72亿新台币。